– Niedrige erreichbare Enddrücke, niedere Rückströmrate
– Wasserklares Fluid für ein- und zweistufige ölgedichtete Pumpen
Klüber Tyreno Fluid WA-70V ist ein paraffinbasisches Mineralöl, additiviert.
Arbeitsflüssigkeit für ölgedichtete Vakuumpumpen bei universellen Anwendungen (Abpumpen von Luft, Edelgasen, aber kein Sauerstoff). Sehr gut geeignet für Dünnschichtprozesse, wie CVD/PVD und Varianten. In zweistufigen mechanischen Vorpumpen wird ein Pumpenenddruck von ca. 10–3 mbar erreicht.
Die Pumpen sollen vor der Befüllung mit Frischöl gespült werden. Hierbei sind insbesondere feste Rückstände zu entfernen. Das Vermischen mit Syntheseölen ist zu vermeiden.
Hersteller | Klüber |
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Kategorie/Typ | unbestimmt |
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